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晶盛機電首台硬軸直拉爐成功生長出8英寸矽單晶
发布时间:2020-08-24 信息来源: 浏览次数:5298


 

       8月23日,晶盛机电晶体实验室采用硬轴直拉硅单晶炉生长出直径8英寸硅单晶,这是国内首台硬轴直拉炉生长出的首颗8英寸晶体。该晶体的成功生长,是我国在半导体级硅单晶生长装备领域的重大突破,进一步巩固了公司晶体生长装备技术的核心竞争力。

 

       晶盛机电专注于半导体硅单晶生长装备研發,从2006年开发出第一代硅单晶炉开始,先后开发出TDR85、TDR95、TDR110、TDR130等多款满足直径6-12英寸硅单晶生长装备。又相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项先进技术,先后主持两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),是目前行业内産品种类齐全、技术领先的硅单晶炉制造企业。

 

       随着国内集成电路产业技术发展,提高单晶材料内在品质越来越重要。传统直拉硅单晶炉采用钨合金缆绳作为晶体提拉和旋转动作的传动轴,业内统称为软轴。本次晶盛机电开发的硬轴技术,克服了软轴使用过程中晶体在高晶转下易晃动,可以有效改善晶体径向均匀性。晶盛研發团队在开发过程中解决了轴动密封、抗震动、轴水冷、气流场等诸多技术难题。此次首颗晶体的成功面世,是晶盛研發团队在“打造半导体材料装备领先企业”使命引领下,又一个扛鼎之作。湖北快3

 

       矽晶圓作爲微電子産業最重要的原材料仍嚴重依賴進口,半導體産業從裝備到材料的國産化成爲國內半導體人的使命。晶盛機電此次硬軸直拉爐的研制成功,爲國內大矽片行業提供了裝備保障。2021年公司將推出12英寸硬軸直拉矽單晶爐面向市場,爲國産大尺寸矽片産業騰飛助力。

 

       科技之晶,盛譽天下!

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